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<p>Verfahren zur Herstellung einer Bor, Kohlenstoff und Wasserstoff enthaltenden Schicht (30) auf ein Substrat (20) mittels Dampfphasenabscheidung wobei das prozessgas Wasserstoff enthält. Der Verwendungsbereich der Schicht erstreckt sich zum Beispiel auf Zerspanungs- oder Umformwerkzeuge oder als Absorbermaterial in Kernreaktoren.</p> |
