发明名称 METHOD FOR MAKING A DETACHABLE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND FOR OBTAINING A SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 EP1550158(A2) 申请公布日期 2005.07.06
申请号 EP20030780289 申请日期 2003.10.03
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 LAGAHE, CHRYSTELLE;ASPAR, BERNARD;BEAUMONT, AURELIE
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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