| 摘要 |
<p>Oppfinnelsen vedrører måleinnretninger som kan brukes for måling av vinkelhastigheter, og vedrører med særskilt oscillerende mikromekaniske vinkelhastighetssensorer. I vinkelhastighetssensorer ifølge oppfinnelsen er det anordnet minst ett elektrodepar i tilknytning til en kant på en seismikkmasse (1, 9, 10, 20, 30, 31). Elektrodeparet danner sammen med overflaten til massen (1, 9, 20, 30, 31) to kapasitanser, slik at den ene av kapasitansene til elektrodeparet vil øke mens de andre kapasitansen til elektrodeparet vil synke, som en funksjon av rotasjonsvinkelen til primærbevegelsen for massen (1, 9, 10, 20, 30, 31). Strukturen til en vinkelhastighetssensor ifølge oppfinnelsen muliggjør en pålitelig og effektiv måling, særlig i kompakte løsninger med oscillerende mikromekaniske vinkelhastighetssensorer.</p> |
