一种晶圆盒

摘要

本实用新型提供了一种晶圆盒，它包括罩面和底盘，该罩面底部两侧的内壁分别开有两个槽孔；底盘两侧面对应开有放置卡杆的两个卡槽，卡杆上具有卡齿；底盘通过将卡齿旋入罩面底部对应的槽孔内与罩面连接。该晶圆盒还包括安装在罩面两侧壁的把手，把手包括安装杆，自安装杆侧壁延伸出拱形卡手槽，自拱形卡手槽底部延伸出把手的托翼，该安装杆与所述罩面的侧壁连接；卡杆上具有两个向下弯曲的卡齿。通过此把手使得晶圆盒不易从手中滑落，采用两个向下弯曲的卡齿可有效增大底盘的承载力，使得卡盘不易与罩面脱落，从而解决传统晶圆盒存在的晶圆盒易从手中滑落的问题，以及底盘易与罩面脱落的问题。

主权项

1、一种晶圆盒，它包括罩面和底盘，所述罩面底部两侧的内壁分别开有两个槽孔；所述底盘两侧面对应开有两个卡槽，所述卡槽安放有卡杆，所述卡杆上具有卡齿；所述底盘通过将卡齿旋入所述罩面底部对应的槽孔内与罩面连接，其特征在于，所述晶圆盒还包括安装在罩面两侧壁的把手，所述把手包括安装杆，自安装杆侧壁延伸出拱形卡手槽，自所述拱形卡手槽底部延伸出所述把手的托翼，所述安装杆与所述罩面的侧壁连接；所述卡杆上具有两个向下弯曲的卡齿。