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发明名称 METHOD OF FABRICATING SELF-ASSEMBLY MULTI-MOLECULAR LAYER
摘要
申请公布号 KR100941109(B1) 申请公布日期 2010.02.10
申请号 KR20070138397 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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