| 摘要 |
본 발명은 기판을 추가로 처리하기 위해 캐리어 기판 위에 평평한 기판을 정렬하고 프리픽싱 하기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는:- 기판의 외측 윤곽에 작동됨으로써, 기판의 외측 윤곽을 캐리어 기판의 캐리어 기판의 외측 윤곽에 대해 조절하여 정렬시키기 위한 정렬 수단을 포함하고, 캐리어 기판은 기판의 접촉 표면에 의해 형성된 기판 평면(E)을 따라 정렬되며;- 정렬된 기판을 캐리어 기판 위에 일부분 이상 프리픽싱 하기 위한 결부 수단을 포함한다.또한, 본 발명은 기판을 추가로 처리하기 위해 캐리어 기판 위에 평평한 기판을 정렬하고 프리픽싱 하기 위한 공정에 관한 것으로서, 상기 공정은:- 정렬 수단에 의해, 기판의 외측 윤곽에 작동됨으로써, 기판의 외측 윤곽을 캐리어 기판의 캐리어 기판의 외측 윤곽에 대해 정렬시키는 단계를 포함하고, 상기 정렬 단계는 기판의 접촉 표면에 의해 형성된 기판 평면(E)을 따라 수행되며;- 결부 수단에 의해, 정렬된 기판을 캐리어 기판 위에 일부분 이상 프리픽싱 하는 단계를 포함한다. |
