发明名称 PROCESS FOR DETERMINING EFFECTIVE OXYGEN CONCENTRATION IN ATMOSPHERE GAS IN GROWTH OF SINGLE CRYSTAL BY PULLING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6140896(A) 申请公布日期 1986.02.27
申请号 JP19840163561 申请日期 1984.08.03
申请人 NEC CORP 发明人 KUWANO YASUHIKO
分类号 C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
地址