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发明名称
PROCESS FOR DETERMINING EFFECTIVE OXYGEN CONCENTRATION IN ATMOSPHERE GAS IN GROWTH OF SINGLE CRYSTAL BY PULLING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6140896(A)
申请公布日期
1986.02.27
申请号
JP19840163561
申请日期
1984.08.03
申请人
NEC CORP
发明人
KUWANO YASUHIKO
分类号
C30B15/00
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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