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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6396927(A) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 JP19860242501 申请日期 1986.10.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAITO KOJI
分类号 H01L21/318;H01L29/78 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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