发明名称 WAFER TREATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0428897(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900134042 申请日期 1990.05.25
申请人 SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD 发明人 SONODA HARUTAKE
分类号 C25D5/08;C25D7/12;C25D17/00 主分类号 C25D5/08
代理机构 代理人
主权项
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