| 发明名称 |
EXCESSIVE CARRIER CONCENTRATION MEASURING METHOD FOR HALF-INSULATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0749323(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
| 申请号 |
JP19930195647 |
申请日期 |
1993.08.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
IINO TAKAYUKI |
| 分类号 |
G01N21/00;G01N27/04;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/04 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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