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发明名称
DEVICE UNLOADING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR0168229(B1)
申请公布日期
1999.02.01
申请号
KR19950035328
申请日期
1995.10.13
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
YUN, MOON-SOO
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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