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发明名称 SUPPLYING METHOD OF DILUTED SOLUTION IN PHOSPHORIC ACID TANK
摘要
申请公布号 KR0168195(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950032203 申请日期 1995.09.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, BONG-WON;HWANG, HA-SUB
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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