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发明名称 ULTRASONIC WASHER
摘要
申请公布号 JPH11151468(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19970318438 申请日期 1997.11.19
申请人 TOKIN CORP;SPEEDFAM CLEAN SYSTEM KK 发明人 TAKAGAWA TADASHI;MIYAZAKI HIROYUKI;SUGAI JUNICHI;HATTORI HIROSHI
分类号 B08B3/12;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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