| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zum Testen der Funktionalität eines Drehratensensors vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor ein Substrat und eine gegenüber dem Substrat schwingungsfähige mikromechanische Struktur mit einem ersten Antriebselement, einem zweiten Antriebselement und wenigstens einem Corioliselement umfasst, wobei das Corioliselement von dem ersten Antriebselement und/oder von dem zweiten Antriebselement zu wenigstens einer Schwingungsmode anregbar ist, wobei ein Detektionssignal in Abhängigkeit einer zu detektierenden Kraftwirkung auf das Corioliselement detektiert wird, wobei der Drehratensensor wahlweise in einem Normalmodus oder in einem Selbsttestmodus betreibbar ist, wobei im Normalmodus das erste Antriebselement und das zweite Antriebselement angetrieben werden, dadurch gekennzeichnet, dass im Selbsttestmodus wahlweise ausschließlich das erste Antriebselement oder das zweite Antriebselement angetrieben wird |
