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发明名称
光学コンポーネント
摘要
光学コンポーネント(36)の場合、光学素子(45)がフレーム(43)に横方向(44)に固定され、フレーム(43)は、横方向(44)の光学素子(45)の線膨張が最大1%である場合でも、横方向(44)の線膨張が0.01%以下、特に0.001%以下、特に0.0001%以下であるよう具現される。
申请公布号
JP2016525231(A)
申请公布日期
2016.08.22
申请号
JP20160526527
申请日期
2014.07.07
申请人
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人
ヨハネス アイゼンメンガー
分类号
G03F7/20;G02B19/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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