发明名称 光学コンポーネント
摘要 光学コンポーネント(36)の場合、光学素子(45)がフレーム(43)に横方向(44)に固定され、フレーム(43)は、横方向(44)の光学素子(45)の線膨張が最大1%である場合でも、横方向(44)の線膨張が0.01%以下、特に0.001%以下、特に0.0001%以下であるよう具現される。
申请公布号 JP2016525231(A) 申请公布日期 2016.08.22
申请号 JP20160526527 申请日期 2014.07.07
申请人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 发明人 ヨハネス アイゼンメンガー
分类号 G03F7/20;G02B19/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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