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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6130736(B2) 申请公布日期 1986.07.15
申请号 JP19780118224 申请日期 1978.09.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SAITO MASATAKE
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/329;H01L23/04;H01L23/08;H01L29/861 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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