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发明名称 MANIPULATOR OPERATING JIG FOR MBE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0387018(A) 申请公布日期 1991.04.11
申请号 JP19890224085 申请日期 1989.08.30
申请人 NEC CORP 发明人 ODA NAOKI
分类号 B25J19/00;B01L99/00;C30B23/08;H01L21/203;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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