发明名称 VERFAHREN ZUM ZIEHEN VON HALBLEITEREINKRISTALLEN AUS UNTIEFEN TIEGELN GEMAESS DEM CZOCHRALSKIVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3584123(D1) 申请公布日期 1991.10.24
申请号 DE19853584123 申请日期 1985.06.25
申请人 GENERAL SIGNAL CORP., STAMFORD, CONN., US 发明人 LANE, RICHARD L., PENFIELD NEW YORK, US
分类号 C30B15/02;C30B15/10;C30B15/12;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02;C30B15/14 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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