发明名称 MASK MATERIAL HAVING LIGHT TRANSMISSIVE PART AND LIGHT SHIELDING PART
摘要
申请公布号 JPH0682987(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19910257109 申请日期 1991.09.09
申请人 KONICA CORP 发明人 SASATAKE TOMOKO;HOSOI YOSHIYUKI;YOSHIDA KAZUHIRO;TOSAKA YASUO;SASAGAWA MASAYUKI
分类号 G03C5/00;G03F1/92;(IPC1-7):G03C5/00;G03F1/06 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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