发明名称 |
MASK MATERIAL HAVING LIGHT TRANSMISSIVE PART AND LIGHT SHIELDING PART |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0682987(A) |
申请公布日期 |
1994.03.25 |
申请号 |
JP19910257109 |
申请日期 |
1991.09.09 |
申请人 |
KONICA CORP |
发明人 |
SASATAKE TOMOKO;HOSOI YOSHIYUKI;YOSHIDA KAZUHIRO;TOSAKA YASUO;SASAGAWA MASAYUKI |
分类号 |
G03C5/00;G03F1/92;(IPC1-7):G03C5/00;G03F1/06 |
主分类号 |
G03C5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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