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发明名称 PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH10130872(A) 申请公布日期 1998.05.19
申请号 JP19960286474 申请日期 1996.10.29
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 HISADA MASAHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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