发明名称 FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10163497(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960317198 申请日期 1996.11.28
申请人 SHARP CORP 发明人 SHIBUYA TSUKASA
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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