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发明名称
FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10163497(A)
申请公布日期
1998.06.19
申请号
JP19960317198
申请日期
1996.11.28
申请人
SHARP CORP
发明人
SHIBUYA TSUKASA
分类号
H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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