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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163443(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960317719 申请日期 1996.11.28
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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