发明名称 ION IMPLANTATION METHOD OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE PROCESS
摘要
申请公布号 KR0166218(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950056598 申请日期 1995.12.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 OK, KYUNG-HA;JOO, YONG-BYUNG;SONG, WOO-CHUL;CHO, SHIN-HYUN
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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