APPARATUS FOR FIXING FLAT CABLE OF STEPPER USED IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES,申请号KR19950052285-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR FIXING FLAT CABLE OF STEPPER USED IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号	KR0166216(B1)	申请公布日期	1999.02.01
申请号	KR19950052285	申请日期	1995.12.19
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	EUM, KI-YONG;PARK, SOON-JONG
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址