| 发明名称 |
DEFECT DETECTION METHOD FOR INSULATING FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11248608(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980052394 |
申请日期 |
1998.03.04 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MATSUNAGA HIDEKI;OKADA AKIRA;TAKENO SHIRO;OUSE MICHIHIRO;SUZUKI ISAO |
| 分类号 |
G01N1/32;G01N1/28;G01N27/26;G01N33/00;G01N33/44;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/28 |
主分类号 |
G01N1/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
