发明名称 离子氮碳共渗和中温离子渗硫复合处理方法
摘要 本发明涉及一种离子氮碳共渗和中温离子渗硫复合处理方法,该方法是首先将工件置于离子轰击炉中,在一定的真空度、工作电压和温度下通入氨气和含碳介质挥发气,轰击2~6小时后,降低温度,通入含硫介质挥发气,并控制真空度、工作电压、氨气流量和含硫介质挥发气流量,轰击0.5~2小时,即完成对工作的复合处理。用本发明方法处理的零件或工具,表面形成硫化物和氮化合物复合渗层,因而提高了其表面耐磨性,延长使用寿命。
申请公布号 CN1049252C 申请公布日期 2000.02.09
申请号 CN97125869.4 申请日期 1997.12.26
申请人 清华大学 发明人 朱张校;杜全友;关磊;曲泽阳
分类号 C23C8/36 主分类号 C23C8/36
代理机构 清华大学专利事务所 代理人 罗文群
主权项 1、一种离子氮碳共渗和中温离子渗硫复合处理方法,其特征在于该方法包括下列各步骤:(1)将需处理的工件置于离子轰击炉中,抽真空至10~20Pa后,通入氨气和含碳介质挥发气,氨气流量为2~6L/min,挥发气流量为0.3~1L/min,工作电压为600~800V,维持真空度700~950Pa,温度为500~600℃,轰击时间为2~6小时;(2)停止送含碳介质挥发气,降低氨气流量,通入含硫介质挥发气,停止轰击,待炉内工件温度降到200~400℃后,再加轰击电压,进行中温离子渗硫,其工作电压为600~700V,真空度为600~800Pa,氨气流量为0.5~1.5L/min,含硫介质挥发气流量为0.5~1L/min,温度为200~400℃,轰击时间为0.1~2小时;(3)停止送气,并停止轰击,工件在炉内冷却到100℃左右,即完成对工件的复合处理。
地址 100084北京市海淀区清华园