发明名称 Method for forming semiconductor films at desired positions on a substrate
摘要
申请公布号 GB0017261(D0) 申请公布日期 2000.08.30
申请号 GB20000017261 申请日期 2000.07.13
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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