发明名称 APPARATUS FOR SAFELY PLACING OF WAFER
摘要
申请公布号 KR100575561(B1) 申请公布日期 2006.04.25
申请号 KR20040114244 申请日期 2004.12.28
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JO, YOUNG HUN
分类号 H01L21/68;H01L21/66 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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