基板搬运机构

摘要

在现有的搬运带载体的搬运机构中，无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构，都会对带表面产生损伤。本发明提供一种基板检测器的搬运机构，滑动搬运部6A、6B中的吸附垫25、30交互地吸附保持在带状基板5的里面，并从搬运方向的上游向下游移动；通过进行该连续的交互往复移动，使带状基板5在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。

主权项

1.一种基板搬运机构，其特征在于，具有：吸附垫，通过真空吸附而吸附保持在带状基板内侧；滑动搬运部，将吸附保持上述带状基板的上述吸附垫滑动到搬运方向下游、使未吸附保持状态的上述吸附垫返回到搬运方向的上游；升降机构，搭载上述滑动搬运部，在上述吸附垫滑动到搬运方向下游时上升、在该吸附垫返回到搬运方向上游时下降。