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Verfahren zur Herstellung eines mit akustischen Wellen arbeitenden MEMS Bauteils (1), aufweisend die Schritte: – Fertigen eines mit akustischen Wellen arbeitenden MEMS Bauelements (2) auf einem Substrat (3), – Verkapseln des Bauelements (2) mit einer Gehäuseschicht (10), wobei die Gehäuseschicht (10) in einem Wellenlängenbereich durchlässig für elektromagnetische Strahlung (14) ist, wobei das Bauelement (2) in einer Gasatmosphäre verkapselt wird, – Trimmen des Bauelements (2) durch Bestrahlen des Bauelements (2) mit elektromagnetischer Strahlung (14) mit einer Wellenlänge, die in dem Wellenlängenbereich liegt, in dem die Gehäuseschicht (10) durchlässig für die elektromagnetische Strahlung (14) ist, wobei das Material der Oberfläche des Bauelements (2) durch die Bestrahlung mit elektromagnetischer Strahlung (14) erhitzt wird und sich mit den Gasatomen der Gasatmosphäre verbindet. |
