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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine zentrale Transportkammer (102) mit mindestens einer ersten Transportvorrichtung (102h) zum Transportieren eines Trägers; mehrere Prozesskammeranordnungen (104), welche jeweils mit der zentralen Transportkammer (102) gekuppelt sind, wobei die mehreren Prozesskammeranordnungen (104), die zentrale Transportkammer (102) und die erste Transportvorrichtung (102h) derart eingerichtet sind, dass der Trägers mittels der ersten Transportvorrichtung (102h) in jede der mehreren Prozesskammeranordnungen (104) hinein und aus jeder der mehreren Prozesskammeranordnungen (104) heraus transportiert werden kann; wobei zumindest eine der mehreren Prozesskammeranordnungen (104) einen ersten Prozessierbereich (104a) zum Prozessieren des Trägers und einen zweiten Prozessierbereich (104b) zum Prozessieren des Trägers aufweist und eine zweite Transportvorrichtung (104t) zum Transportieren des Trägers von dem ersten Prozessierbereich (104a) in den zweiten Prozessierbereich (104b). |
