| 摘要 |
본 발명은 표면(13) 측정용 거리 측정 방법에 대한 것이다. 레이저 소스(1)의 주파수 변조에 의하여 파장 범위에서 튜닝 가능한 파장의 레이저 빔이 간섭성 길이를 가지면서 생성되어 측정 빔(MS)을 제공하고 측정 빔(MS)으로서 특정 거리 범위 내에 위치하는 표면(13)으로 방사된다. 상기 측정 빔(MS)은 표면(13)에 의하여 후방 산란되어 다시 수신되고 기준 포인트부터 상기 표면(13)까지의 거리를 간섭계적으로 측정하는데 이용되고, 측정 및 기준 간섭계 암이 이용된다. 상기 특정 거리 범위는 적어도 부분적으로 상기 간섭성 길이의 외부에 위치하고 사익 측정 빔은 두 개의 빔 부분으로 분열된다. 빔 부분 중 어느 하나는 다른 빔 부분에 대하여 일시적으로 지연되어 상기 지연에 의하여 야기되는 하나의 광학 경로 차이는 상기 특정된 거리 범위에 상기 레이저의 간섭성 길이를 플러스 또는 마이너스한 거리에 대응하는 광학 경로 차이에 대등하다. |
