| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR INSPECTING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5435362(A) |
申请公布日期 |
1979.03.15 |
| 申请号 |
JP19770100522 |
申请日期 |
1977.08.24 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
YOKOO KIYOUICHI;YOSHIDA SEISHIROU |
| 分类号 |
G01B11/00;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;G01R31/28;H04N7/18;H05K13/08 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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