| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0429327(A) |
申请公布日期 |
1992.01.31 |
| 申请号 |
JP19900134081 |
申请日期 |
1990.05.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIMURA SHINICHIRO;HISAMOTO MASARU;MATSUOKA HIDEYUKI;TORII KAZUNARI;TSUJIMOTO KAZUNORI;YOSHIMURA TOSHIYUKI;YOKOYAMA NATSUKI;TAKEDA EIJI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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