发明名称
摘要
申请公布号 JP2591800(B2) 申请公布日期 1997.03.19
申请号 JP19880201762 申请日期 1988.08.12
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UEKI KENICHI;MYAZAKI HITOSHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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