发明名称 BORON NITRIDE COLD CATHODE
摘要
申请公布号 EP0818050(A1) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 EP19960906466 申请日期 1996.02.16
申请人 WAYNE STATE UNIVERSITY 发明人 PRYOR, ROGER, W.
分类号 C23C14/06;C23C14/28;H01J1/30;H01J1/304;H01J9/02;H01J19/24;H01J21/04;(IPC1-7):H01J1/02;C23C8/00;C23C14/34;H01L31/025 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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