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经营范围
发明名称
BORON NITRIDE COLD CATHODE
摘要
申请公布号
EP0818050(A1)
申请公布日期
1998.01.14
申请号
EP19960906466
申请日期
1996.02.16
申请人
WAYNE STATE UNIVERSITY
发明人
PRYOR, ROGER, W.
分类号
C23C14/06;C23C14/28;H01J1/30;H01J1/304;H01J9/02;H01J19/24;H01J21/04;(IPC1-7):H01J1/02;C23C8/00;C23C14/34;H01L31/025
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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