| 发明名称 |
PHASE SHIFT MASK WITH HALF TONE AND PREPARATION THEREFROM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0151068(B1) |
申请公布日期 |
1998.10.01 |
| 申请号 |
KR19950019032 |
申请日期 |
1995.06.30 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO,.LTD |
发明人 |
MOON, SUNG-YONG |
| 分类号 |
G03F1/26;G03F1/00;G03F1/32;(IPC1-7):G03F1/14;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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