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发明名称 CLEANING APPARATUS CAPABLE OF MOVING UNDERWATER AND A METHOD FOR CLEANING A WAFER
摘要
申请公布号 KR0158504(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950055687 申请日期 1995.12.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KO, YONG-SUN;NAM, CHANG-HYUN
分类号 (IPC1-7):H01L21/341 主分类号 (IPC1-7):H01L21/341
代理机构 代理人
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