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发明名称 WAFER DOUBLE LOADING PREVENTION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0130140(Y1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950004574U 申请日期 1995.03.16
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 YUN, SUK-CHUL;LEE, JUNG-HO;LEE, JAE-MIN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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