| 发明名称 |
ADHERING METHOD AND SLICING METHOD OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL INGOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10337695(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970160418 |
申请日期 |
1997.06.03 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TOYAMA KOHEI;KASE HIROBUMI;ARAMAKI KINEKICHI |
| 分类号 |
B26D7/08;B28D5/00;B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B26D7/08 |
主分类号 |
B26D7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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