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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11103025(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970260258 申请日期 1997.09.25
申请人 NEC CORP 发明人 IWASAKI HARUO
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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