集成光学频谱分析器组件

摘要

一种集成光学频谱分析器组件,属于光电子学声光信息处理技术领域。在光学LiNbO₃晶片上,通过精心加工制成将短程透镜,叉指换能器集成为一体结构的并与半导体激光器和CCD阵列组成的频谱分析器组件。本频谱分析器具有覆盖域宽、截获几率高、结构小等优点适合装备飞机和卫星上使用。

主权项

1、一种集成光学频谱分析器组件，其特征是在一片精密抛光的长方形光学LiNbO3波导衬片(2)上，有左、右两个经过单点金刚石车床超精加工出的非球面短程透镜(4)和(5)的凹面，复盖在(2)、(4)和(5)表面上的是由高频溅射后，又经高温扩散的Ti扩散波导层(3)，两个非球面波导短程透镜(4)和(5)中心连线中点处，靠近LiNbO3波导衬片(2)的边沿内，有经干法蚀刻技术光刻制成的倾斜式变周期叉指换能器(6)，在叉指换能器(6)上有两条金丝引线(7)和(8)，LiNbO3波导衬片(2)的左、右两个端面上分别置有半导体激光器(1)和CCD探测器阵列(9)。