发明名称 | 制作多个薄膜器件 | ||
摘要 | 本发明的一方面是一种用来制作多个薄膜器件的方法。此方法包括对柔性衬底[710]上的至少一种薄膜材料[720-740]粗略地进行图形化以及用自对准压印平版印刷术(SAIL)工艺在柔性衬底上形成多个薄膜元件。 | ||
申请公布号 | CN1889251A | 申请公布日期 | 2007.01.03 |
申请号 | CN200510084775.2 | 申请日期 | 2005.07.21 |
申请人 | 惠普开发有限公司 | 发明人 | C·P·陶西格;P·梅;W·R·汉布格尔 |
分类号 | H01L21/82(2006.01);H01L27/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/82(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张雪梅;梁永 |
主权项 | 1.一种用来形成多个薄膜元件的方法,它包含:对柔性衬底[710]上的至少一种薄膜材料[720-740]粗略地进行图形化;以及用自对准压印平版印刷术(SAIL)工艺在柔性衬底[710]上形成多个薄膜元件。 | ||
地址 | 美国德克萨斯州 |