发明名称 制作多个薄膜器件
摘要 本发明的一方面是一种用来制作多个薄膜器件的方法。此方法包括对柔性衬底[710]上的至少一种薄膜材料[720-740]粗略地进行图形化以及用自对准压印平版印刷术(SAIL)工艺在柔性衬底上形成多个薄膜元件。
申请公布号 CN1889251A 申请公布日期 2007.01.03
申请号 CN200510084775.2 申请日期 2005.07.21
申请人 惠普开发有限公司 发明人 C·P·陶西格;P·梅;W·R·汉布格尔
分类号 H01L21/82(2006.01);H01L27/00(2006.01) 主分类号 H01L21/82(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张雪梅;梁永
主权项 1.一种用来形成多个薄膜元件的方法,它包含:对柔性衬底[710]上的至少一种薄膜材料[720-740]粗略地进行图形化;以及用自对准压印平版印刷术(SAIL)工艺在柔性衬底[710]上形成多个薄膜元件。
地址 美国德克萨斯州