发明名称 COMPOSITION FOR REMOVING SIDEWALL AND METHOD OF REMOVING SIDEWALL
摘要
申请公布号 EP1139401(A4) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP19990973167 申请日期 1999.11.26
申请人 SHOWA DENKO KABUSHIKI KAISHA 发明人 OGATA, FUJIMARO;SUGIYAMA, TSUTOMU;MIYAHARA, KUNIAKI
分类号 C11D3/02;C11D3/20;C11D7/08;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/302;H01L21/027;C11D7/22 主分类号 C11D3/02
代理机构 代理人
主权项
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