发明名称 构图和膜形成方法、电致发光器件及其制造方法以及电致发光显示装置
摘要 公开了一种构图方法,其包括构图步骤,所述构图步骤包括曝光基底,所述基底包括:(a)衬底;(b)光催化剂层,形成在部分所述衬底上并且包含光催化剂;以及(c)构图层,形成在包括所述衬底(a)和所述光催化剂层(b)的基底的上表面上,所述构图层通过所述光催化剂的作用可分解;由此分解并且去除在所述光催化剂层(c)上的所述构图层,以暴露所述光催化剂层的至少部分上表面。根据该方法,提供高分辨率并且低成本的EL器件和电致发光显示装置。
申请公布号 CN101027608A 申请公布日期 2007.08.29
申请号 CN200580032293.0 申请日期 2005.09.22
申请人 昭和电工株式会社 发明人 福地隆
分类号 G03F7/00(2006.01);H01L51/40(2006.01) 主分类号 G03F7/00(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种构图方法,包括构图步骤,所述构图步骤包括曝光基底,所述基底包括:(a)衬底;(b)光催化剂层,形成在部分所述衬底上并且包含光催化剂;以及(c)构图层,形成在包括所述衬底(a)和所述光催化层(b)的基底的上表面上,所述构图层通过所述光催化剂的作用可分解;由此分解并去除所述光催化剂层(b)上的所述构图层(c),以暴露所述光催化剂层(b)的至少部分上表面。
地址 日本东京都