| 摘要 |
기판 반송 장치(1)는 제1 핸드 기구(40) 및 제2 핸드 기구(140)를 구비하며, 제1 핸드 기구(40)는 제1 하부 암(41), 제1 상부 암(42), 선단부가 제1 기판 유지부(43a)인 제1 핸드(43), 및 제1 상부 암(42)의 회동에 종동하여 제1 핸드(43)를 회동시키는 제1 종동 기구(44)를 포함하고, 또한 제1 하부 암(41), 제1 상부 암(42) 및 제1 핸드(43)의 회동에 따라 수축 위치와 신장 위치 사이에서 제1 기판 유지부(43a)를 이동 가능하게 구성되고, 제2 핸드 기구(140)는 제2 하부 암(141), 제2 상부 암(142), 선단부가 제2 기판 유지부(143a)인 제2 핸드(143), 및 제2 상부 암(142)의 회동에 종동하여 제2 핸드(143)를 회동시키는 제2 종동 기구(144)를 포함하고, 또한 제2 하부 암(141), 제2 상부 암(142) 및 제2 핸드(143)의 회동에 따라 수축 위치와 신장 위치 사이에서 제2 기판 유지부(143a)를 제1 기판 유지부(43a)와 동기화하여 이동 가능하게 구성된다. |
