| 摘要 |
【課題】本発明は、複数の放射アンテナの中から電磁波の供給先が切り替えられる電磁波放射装置において、大電力の電磁波を放射する場合でもスイッチング素子の破壊等の不都合が生じない電磁波放射装置を提供することを目的とする。本発明は、電磁波発生装置から出力された電磁波が、複数の放射アンテナへ分配された後に、前記複数の放射アンテナのうち、近傍にプラズマが存在する対象アンテナに、前記対象アンテナへ分配された電磁波と、前記対象アンテナ以外の放射アンテナで反射した電磁波の一部又は全部とが供給されるように構成され、前記対象アンテナへ分配された電磁波の一部又は全部と、前記対象アンテナ以外の放射アンテナで反射した後に前記対象アンテナへ供給された電磁波の一部又は全部とが、前記対象アンテナから前記プラズマへ放射されることを特徴とする電磁波放射装置である。 |
