发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5399781(A) 申请公布日期 1978.08.31
申请号 JP19770013604 申请日期 1977.02.10
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 IMAI KAZUO;YORIUME YUTAKA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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