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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03159136(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890298331 申请日期 1989.11.16
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NAGAMI KIMIHIKO
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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