发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03159135(A) 申请公布日期 1991.07.09
申请号 JP19890297378 申请日期 1989.11.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 BABA YASUO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/338;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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